各种微生物的大小可如图1-1所示。大部分微生物在于0.3μm。---是的微生物,大约在0.005μm以上,其次是立克次氏体。细类很多,多数 在空气中以群体形式存在。常见的---大小为5.5~6.5μm,---为3.1~3.9μm,采用空气过滤器(0.5μm,过滤效率***99.9%)基本 上可将它们除去。
洁净室之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之---的洁净度日及温湿度,使产品能在一个---之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
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